超纯水设备的应用为硅晶圆生产送去高品质超纯水

时间：2023-09-22

　　硅晶圆是一种半导体材料，在经过照相制版，研磨，抛光，切片等一系列工序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。这种硅晶圆在人工智能、物联网和生物医学等领域都是多有应用。近年来，我国越来越重视硅晶圆的生产，带动了其上下游产业的发展，超纯水设备的应用也在其列。

　　硅晶圆生产与超纯水设备是什么关系?在硅晶圆研磨，抛光，切片这些工序中少不了其身影，超纯水设备主要是为期送去高品质清洗超纯水，方便其清洗表面的金属物质。那么这样的超纯水设备是如何制出高品质超纯水的？

超纯水设备

　　该设备采用预处理+反渗透+EDI+抛光混床的组合形式来制备超纯水。该设备具有高效低能、运行成本低，水资源利用率高、体积较小、维修量小，运行的时间长等优点。设备中应用的EDI?？樵谠诵泄讨胁恍枰砑尤魏位?，不仅减少了化学品运输问题，同时降低了系统运行费用。EDI模块不会产生酸碱废液，因此不需要酸碱中和处理。EDI进水为二级反渗透产水，水质较好。即使经EDI系统脱盐后，EDI浓水水质仍优于一级反渗透产水，可回流至一级反渗透产水箱?？闪ぷ?，无需更换树脂。

　　并且该超纯水设备满足了各种工业用水的不同需求，应用范围非常广泛，可适用于电子、半导体、线路板、集成电路、机密机械的生产和清洗，还可以应用在食品饮料行业中和饮用水的制取。设备能够连续稳定的制备品质优良的超纯水，其占地非常小，可以为企业节省很多空间，在符合硅晶圆生产用水水质标准的同时可以使水资源的利用率达到95%~99%，有效提升了水资源利用率。

　　随着半导体行业不断的发展，我国对于硅晶圆需求只多不少，侧面带动了超纯水设备的市场需求，未来发展形势也是一片大好!

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　　编辑：柒柒技术：米

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